فرن المعالجة الحرارية الفراغية من النوع المقاوم / فرن الفراغ الصناعي
فرن المعالجة الحرارية الفراغية من النوع المقاوم مصمم خصيصًا لمعدات الإنتاج الآلي لتخمير كربيد السيليكون بدون ضغط (ضغط عادي).تستخدم المعدات تصميم تحسين المجال الحرارة الثابتة، والتي لديها وظائف إزالة وكيل تشكيل-خلاء التخمير-التخمير بدون ضغط في الفرن مرة واحدة.الفرن يمكن أن تتكيف مع مختلف الغلاف الجوي ومناسبة لإنتاج الكربيد السيليكون ونيتريد السيليكونالعملية بسيطة، يتم التحكم في الضغط في الفرن والفراغ والغلاف الجوي بفعالية ودقة.مجال درجة الحرارة في الفرن هو موحد وتصميم غرفة التخمير معقولةإنه معدات متقدمة لتحرير الحرارة عالية جداً قادرة على التحرير دون ضغط وفرج منخفض.
استخدام:
تستخدم بشكل رئيسي في الفراغ ، وتحقيق الغلاف الجوي للكربيد السيليكوني ، والسيراميك ، والكربيد المسند ، والمعادن المسحوقة ، والوترفستين ، والموليبدينوم ، والمغناطيس الدائم AlNiCo ، Smco5 ، Sm2co17 ومرآب سبائك الألومنيوم ،سبيكة التيتانيوم ومواد سبيكة أخرى.
المعايير الأساسية للأداء والمعايير التقنية:
درجة حرارة العمل القصوى: 2380 °C
درجة حرارة عامة: 2280 درجة مئوية
حجم منطقة الحرارة العالية: 200-2000mm × 300-4000mm ؛ أو مربع
طريقة التسخين هيكل قفص السنجاب في أنبوب الجرافيت
دقة التحكم في درجة الحرارة: ± 1 °C
وضع التحكم في درجة الحرارة: WRe5 / 26 ثيرموجل (0-1700 درجة مئوية) + US RATEK ثرمومتر الأشعة تحت الحمراء مزدوج اللون (1000-3200 درجة مئوية)
وضع تعديل الطاقة تعديل تحول مرحلة التايريستور
طريقة التبريد
درجة حرارة مياه التبريد < 35 درجة مئوية
قياس دقة عالية لدرجة حرارة الحاجز الحراري لضمان دقة قياس درجة الحرارة.
يستخدم نظام التحكم الذكي في درجة الحرارة عبر الشاشة الرقمية لإكمال عملية قياس درجة الحرارة والتحكم في درجة الحرارة بدقة عالية تلقائية كاملة.يمكن للنظام تسخين وفقا لعرض منحنى التدفئة ويمكن تخزين أربعة منحنيات التدفئة المختلفة ل 40 أقسام.
الجهاز لديه وظيفة تسجيل القياس، والتي يمكن تسجيل 10،000 مرة من البيانات، ويمكن استفسار البيانات من خلال المنحنى التاريخي.
اعتماداً على جهاز تنظيم الطاقة المستورد من تايوان، والحماية الكاملة جداً من الإفراط في تحميل التايريستور، والدائرة القصيرة وحماية الإفراط في الجهد.
جمع البيانات متعددة القنوات للآلة بأكملها ، وعرض وتشغيل على واجهة الإنسان والآلة ، وتكون معايير تشغيل الآلة بأكملها واضحة في لمحة وسهلة التشغيل ؛
جسم الفرن: هيكل مزدوج الطبقة يتم تبريده بالماء ، يمكن أن يضخ الفراغ تحت الفراغ ؛ لديه واجهة أنابيب الفراغ ، وزيادة صمام فشل الفراغ ، فتحة تضخيم ؛
درجة حرارة موحدة: طريقة التسخين المشترك للقضبان الجرافيتية ، وحدة درجة حرارة جيدة.
عملية مريحة: جسم الفرن أفقي ، باب مزدوج أمامي و خلفي ، مريح للتحميل والتفريغ ، وسهل التشغيل.
| الحجم (L) | 150 | 274 | 452 | 769 |
| درجة الحرارة الاسمية (°C) | 2280 | 2280 | 2280 | 2280 |
| الحد الأقصى لدرجة الحرارة (°C) | 2380 | 2380 | 2380 | 2380 |
| منطقة التسخين الفعالة (Mm) | Φ400X1200 | Φ500X1400 | Φ550X1600 | Φ700X2000 |
| الطاقة (كيلوواط) | 180 | 250 | 300 | 500 |
| طريقة التحكم في درجة الحرارة | الحرارة الكهربائية للجزيرة اليابانية | الحرارة الكهربائية للجزيرة اليابانية | الحرارة الكهربائية للجزيرة اليابانية | الحرارة الكهربائية للجزيرة اليابانية |
| طريقة التسخين | تسخين المقاومة | تسخين المقاومة | تسخين المقاومة | تسخين المقاومة |
| نظام الفراغ | مضخة فراغ صمام العجلة + مضخة فراغ الجذور (متطلبات درجة فراغ عالية مع مضخة انتشار الزيت) | |||
| الغلاف الجوي للتجفيف | N2، Ar2 وغازات أخرى | |||
| الجهد القياسي لمصدر الطاقة (V) | 380 | |||
| الجهد الشعبي للتدفئة (V) | وفقًا للتصميم ، يتم تكوين محول ما قبل الفرن. | |||
| الحد الأقصى للفراغ (Pa) | 40 (حالة فراغ بارد) | |||
