Многоканальная карбидная печь кремния, индукционная нагревательная вакуумная бразировка
Применение:
В основном используется для рекристаллизации карбида кремния
Основные технические характеристики и показатели
Максимальная рабочая температура: 2450 °C
Общая температура: 2400 °C
Способ нагрева: индукционное нагревание
Рабочий газ в печи: азот аргон
Однородность температуры: ≤ ± 10 °C
Точность регулирования температуры: ±1 °C
В соответствии с потребностями времени процесса синтерации, в одном источнике питания могут быть расположены несколько электрических печей,и нагрев и охлаждение отдельных печей могут соответственно выполняться для достижения непрерывной работы.
Измерение температуры: термопары WRe5/26 (0-1700 °C) + двойной колориметрический инфракрасный термометр US RATEK (1000-3200 °C);US RATEK монохромный инфракрасный термометр (300-1100 ° C) + US RATEK двойной коэффициент Цветный инфракрасный термометр (1000-3200 ° C)
Управление температурой: интеллектуальное управление программой PID и ручное управление
Высокая производительность процессов, что делает качество продукции новым шагом
Печь для синтерации карбида кремния обладает превосходными характеристиками процесса, а полученный продукт имеет равномерные частицы, полную реакцию, высокое содержание углерода и хорошее качество;
Устройство использует многоканальное получение данных и отображает и работает на интерфейсе человек-машина.и интенсивность труда низкая;
Устройство имеет функции записи и сброса данных, и данные могут быть просмотрены через историческую кривую и могут быть переданы на мобильный носитель;
Энергосбережение, специальная катушка и изоляционная структура, стабильная мощность и высокая электрическая эффективность.
| Объем (L) | 192 | 350 | 484 | 1920 |
| Номинальная температура (°C) | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 |
| Предельная температура (°C) | 2450 | 2450 | 2450 | 2450 |
| Эффективная зона нагрева (мм) | 400х400х1200 | 500х500х1400 | 550X550X1600 | 800х800х3000 |
| Мощность (кВт) | 150 | 250 | 350 | 550 |
| Частота (HZ) | 1500 | 1000 | 1000 | 1000 |
| Метод контроля температуры | Электрический термостат японского острова | |||
| метод нагрева | Индукционное отопление | |||
| Вакуумная система | Вакуумный насос катушки + вакуумный насос корней | |||
| Атмосфера сцинтерирования | N2, Ar2, и т.д. | |||
| Номинальное напряжение питания (V) | 380 | |||
| Номинальное нагревное напряжение (V) | Согласно конструкции, настроить трансформатор | |||
| Предел вакуума (pa) | 40 (состояние вакуумного холода) | |||
