CVD 화학 기상 증착로, 자동 지르코니아 소결로
화학 기상 증착로 응용 분야:
화학 기상 증착로 탄소 가스(C3H8 등)를 탄소원으로 하는 복합 재료의 화학 기상 증착에 사용될 수 있으며, C/C 복합 재료 및 SiC 복합 재료의 CVD 및 CVI 처리에 사용될 수 있습니다.
화학 기상 증착로 특징:
첨단 제어 기술을 사용하여 가스의 유량과 압력을 정밀하게 제어할 수 있으며, 노 내 증착 가스 흐름이 안정적이고 압력 변동 범위가 작습니다.
특수 구조 증착 챔버는 밀봉 효과가 좋고 오염 방지 능력이 강합니다.
다중 채널 증착 가스 경로를 채택하여 유동장이 균일하고 증착 사각이 형성되지 않아 증착 효과가 좋습니다.
고도로 부식성인 꼬리 가스, 가연성 및 폭발성 가스, 고체 먼지 및 저융점 점성 생성물을 효과적으로 처리할 수 있습니다.
최신 설계 부식 방지 진공 장치는 긴 작동 시간과 낮은 유지 보수율을 가지고 있습니다.
증착로 주요 구성
노 문: 스크류 리프트 / 유압 리프트 / 수동 잠금 / 자동 잠금 링 잠금
노 쉘: 전체 탄소강 / 내부 층 스테인리스강 / 전체 스테인리스강
노: 연성 탄소 펠트 / 연성 흑연 펠트 / 경질 복합 펠트
히터: 등방성 흑연 / 성형 삼고 흑연 / 미세 흑연
공정 가스 시스템: 용적 / 질량 유량계; 수동 밸브 / 자동 밸브; 수입산 / 국산
진공 펌프 및 진공 게이지---수입산/국산
인간-기계 인터페이스: 터치 스크린 / 산업용 컴퓨터
전기 부품: Chint / Schneider / Siemens
| 용량 (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| 최대 온도 (℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 작업 영역 크기 D × H (mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| 온도 제어 방법 | 일본 아일랜드 전기 온도 컨트롤러 | ||||
| 가열 방식 | 저항 가열 | ||||
| 진공 시스템 | 방오 펌프 또는 스풀 펌프 + 루츠 펌프 | ||||
| 소결 분위기 | 탄화수소 가스 등 | ||||
| 정격 전원 전압 (V) | 380 | ||||
| 정격 가열 전압 (V) | 설계에 따라 노 변압기 구성 | ||||
| 진공 제한 (Pa) | 6X10⁻² (진공 냉간 상태) | ||||
