Horno de deposición de vapor químico CVD, horno de sinterización de zirconio automático
Aplicación en hornos de deposición de vapor químico:
Horno de deposición de vapor químico puede utilizarse para la deposición química de vapor de materiales compuestos con gas de carbono (como C3H8, etc.) como fuente de carbono,como el tratamiento CVD y CVI de materiales compuestos C/C y materiales compuestos SiC.
Características del horno de deposición de vapor químico:
Utilizando tecnología de control avanzada, puede controlar con precisión el flujo y la presión del gas, el flujo de gas de deposición en el horno es estable y el rango de fluctuación de la presión es pequeño;
La cámara de deposición de la estructura especial tiene un buen efecto de sellado y una fuerte capacidad antipollución.
Se adopta la trayectoria del gas de deposición multicanal, el campo de flujo es uniforme, no se forma el ángulo muerto de deposición y el efecto de deposición es bueno;
Los gases de cola altamente corrosivos, los gases inflamables y explosivos, el polvo sólido y los productos viscosos de bajo punto de fusión producidos por deposición pueden tratarse eficazmente.
La última unidad de vacío anticorrosión de diseño tiene un largo tiempo de trabajo y baja tasa de mantenimiento.
Configuración principal del horno de deposición
Puerta del horno: elevación por tornillo / / elevación hidráulica /; bloqueo manual / bloqueo automático bloqueo de anillo
Cubierta de horno: acero al carbono completo / acero inoxidable de capa interna / todo acero inoxidable
Horno: fieltro de carbono blando / fieltro de grafito blando / fieltro compuesto duro
Calentador: grafito isostático / grafito moldeado de tres grados / grafito fino
Sistema de gas de proceso: medidor de caudal de volumen / masa; válvula manual / válvula automática; importada / nacional
Bombas de vacío y medidores de vacío--- importación/doméstico
Interfaz hombre-máquina: pantalla táctil / ordenador industrial
Componentes eléctricos: Chint / Schneider / Siemens
| Volumen (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Temperatura máxima (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Tamaño de la zona de trabajo D × H (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800×1200 | F1000×1500 | Φ1100 × 2000 |
| Método de control de la temperatura | Control de temperatura eléctrico de la isla de Japón | ||||
| método de calentamiento | Calentamiento por resistencia | ||||
| Sistema de vacío | La bomba antiincrustación o la bomba de carrete + la bomba de raíces | ||||
| Atmosfera de sinterización | Gas de hidrocarburos, etc. | ||||
| Válvula de alimentación nominal (V) | 380 | ||||
| Válvulas de calefacción | De acuerdo con el diseño, configurar el transformador de horno | ||||
| Límites de vacío (Pa) | 6X10?? 2 (en estado de vacío frío) | ||||
