CVD化学蒸気堆積炉 自動ジルコニアシンタリング炉
化学蒸気堆積炉の適用:
化学蒸気堆積炉 複合材料の化学蒸気堆積のために使用できる. 炭素源として炭素ガス (C3H8など) を含む.C/C複合材料とSiC複合材料のCVDおよびCVI処理など.
化学蒸気堆積炉の特徴:
先進的な制御技術を使用して,ガス流量と圧力を正確に制御することができ,炉内の堆積ガス流量は安定し,圧力変動幅は小さい.
特殊構造の堆積室は密封効果が良く,汚染防止能力が強い.
複数のチャネルによる堆積ガス経路が採用され,流れ場は均質で,堆積死角は形成されず,堆積効果は良好である.
高腐食性のある尾気体,燃やす気体,爆発性気体,固体塵,低溶融点の粘着性製品が堆積によって作られるので,効果的に処理できます.
最新の設計の防腐真空装置は 作業時間が長く メンテナンスも少ない
堆積炉の主要構成
オーブンのドア:スクリューリフト / / 水力リフト /; 手動ロック / 自動ロックリングロック
オーブンのシェル:全炭素鋼 / 内層ステンレス鋼 / 全ステンレス鋼
オーブン:軟炭フェルト /軟グラフィットフェルト /硬複合フェルト
ヒーター:同静グラフィット / 鋳造3高グラフィット / 細グラフィット
プロセスガスシステム:体積/質量流量計;手動バルブ/自動バルブ;輸入/国内
バキュームポンプとバキュームゲープ---輸入/国内用
人間と機械のインターフェース:タッチスクリーン/産業用コンピュータ
電気コンポーネント: チント/シュナイダー/シメンス
| 容量 (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| 最大温度 (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 作業領域の大きさ D × H (mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| 温度制御方法 | 日本島の電気温度調節器 | ||||
| 暖房方法 | 抵抗加熱 | ||||
| バキュームシステム | 汚れ防止ポンプまたはスロールポンプ + 根ポンプ | ||||
| シンター環境 | 炭化水素ガスなど | ||||
| 電源の電圧 (V) | 380 | ||||
| 熱電圧 (V) | 設計に従って,オーブンのトランスフォーマーを設定 | ||||
| バキューム制限 (Pa) | 6X10?? 2 (真空冷却状態) | ||||
