CVD печь химического осаждения из газовой фазы, автоматическая печь для спекания диоксида циркония
Применение печи химического осаждения из газовой фазы:
Печь химического осаждения из газовой фазы может использоваться для химического осаждения композитных материалов с использованием углеродного газа (такого как C3H8 и т. д.) в качестве источника углерода, например, CVD и CVI обработка C/C композитных материалов и SiC композитных материалов.
Особенности печи химического осаждения из газовой фазы:
Используя передовую технологию управления, она может точно контролировать поток и давление газа, поток осаждающего газа в печи стабилен, а диапазон колебаний давления невелик;
Специальная конструкция камеры осаждения имеет хороший эффект герметизации и сильную антизагрязняющую способность;
Применяется многоканальный путь осаждающего газа, поле потока равномерное, мертвый угол осаждения не образуется, и эффект осаждения хороший;
Высококоррозионный отходящий газ, легковоспламеняющийся и взрывоопасный газ, твердая пыль и низкоплавкие вязкие продукты, образующиеся при осаждении, могут быть эффективно обработаны;
Новейший антикоррозионный вакуумный блок имеет длительное время работы и низкую частоту обслуживания.
Основная конфигурация печи осаждения
Дверь печи: винтовой подъем / / гидравлический подъем /; ручной замок / автоматический кольцевой замок
Корпус печи: углеродистая сталь / внутренний слой из нержавеющей стали / вся нержавеющая сталь
Печь: мягкий углеродный войлок / мягкий графитовый войлок / твердый композитный войлок
Нагреватель: изостатический графит / формованный трехвысокий графит / мелкий графит
Система технологического газа: объемный / массовый расходомер; ручной клапан / автоматический клапан; импортный / отечественный
Вакуумный насос и вакуумметр---импорт/отечественный
Интерфейс человек-машина: сенсорный экран / промышленный компьютер
Электрические компоненты: Chint / Schneider / Siemens
| Объем (л) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Максимальная температура (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Размер рабочей зоны D × H (мм) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| Метод контроля температуры | Японский контроллер температуры Island Electric | ||||
| Метод нагрева | Резистивный нагрев | ||||
| Вакуумная система | Противообрастающий насос или золотниковый насос + насос Рутса | ||||
| Спекающая атмосфера | Углеводородный газ и т. д. | ||||
| Номинальное напряжение питания (В) | 380 | ||||
| Номинальное напряжение нагрева (В) | В соответствии с проектом, настройте трансформатор печи | ||||
| Вакуумный предел (Па) | 6X10ˉ2 (вакуумное холодное состояние) | ||||