Печь для химического осаждения паров СВД, печь для синтеза циркония
Применение для печи химического отложения паров:
Печь химического отложения паров может использоваться для химического отложения паров композитных материалов с углеродным газом (например, C3H8, и т.д.) в качестве источника углерода,такие как CVD и CVI обработка композитных материалов C/C и композитных материалов SiC.
Характеристики печи химического отложения паров:
Используя передовую технологию управления, он может точно контролировать поток и давление газа, поток газа отложения в печи стабилен, а диапазон колебаний давления невелик;
Специальная конструкция камеры отложения имеет хороший герметический эффект и сильную антизагрязнительную способность;
Принимается многоканальный путь отложения газа, поле потока равномерно, не образуется мертвый угол отложения, и эффект отложения хорош;
могут быть эффективно обработаны высоко коррозионные отработавшие газы, горючие и взрывоопасные газы, твердая пыль и вязкие продукты с низкой температурой плавления, полученные путем осаждения;
Новейший дизайн антикоррозионного вакуумного блока имеет длительное время работы и низкий уровень технического обслуживания.
Основная конфигурация отложения печи
Дверь печи: винтовая подъемная / / гидравлическая подъемная /; ручная блокировка / автоматическая блокировка кольцевой блокировки
Огневая оболочка: полная углеродистая сталь / внутренний слой нержавеющей стали / вся нержавеющая сталь
Печь: мягкое углеродное войлоко / мягкое графитное войлоко / твердое композитное войлоко
Нагреватель: изостатический графит / формованный трехвысокий графит / мелкий графит
Система процессуального газа: объемный/массовый потокомер; ручной клапан / автоматический клапан; импортный/домашний
Вакуумные насосы и вакуумные приборы--- импортируемые/внутренние
Интерфейс человек-машина: сенсорный экран / промышленный компьютер
Электрические компоненты: Chint / Schneider / Siemens
| Объем (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Максимальная температура (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Размер рабочей зоны D × H (мм) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| Метод контроля температуры | Электрический регулятор температуры острова Япония | ||||
| метод нагрева | Сопротивление нагрева | ||||
| Вакуумная система | Противопорожный насос или катушный насос + корневой насос | ||||
| Атмосфера сцинтерирования | Углеводородный газ и т.д. | ||||
| Номинальное напряжение питания (V) | 380 | ||||
| Номинальное нагревное напряжение (V) | Согласно конструкции, настроить трансформатор печи | ||||
| Предел вакуума (Pa) | 6X10?? 2 (состояние вакуумного холода) | ||||
