Φούρνος Αποθέσεως Χημικών Ατμών CVD, Φούρνος Συσσωρεύσεως Ζιρκονίου
Εφαρμογή σε φούρνο χημικής αποθέσεως ατμών:
Φούρνος χημικής απορρόφησης ατμών μπορεί να χρησιμοποιηθεί για χημική εναπόθεση ατμών σύνθετων υλικών με αέριο άνθρακα (όπως C3H8, κλπ.) ως πηγή άνθρακα,όπως επεξεργασία CVD και CVI σύνθετων υλικών C/C και σύνθετων υλικών SiC.
Χαρακτηριστικά του κλιβάνου χημικής απορρόφησης ατμών:
Χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία ελέγχου, μπορεί να ελέγχει με ακρίβεια τη ροή και την πίεση του αερίου, η ροή αερίου εναπόθεσης στο φούρνο είναι σταθερή και το εύρος διακυμάνσεων πίεσης είναι μικρό.
Ο ειδικός θάλαμος αποθέματος έχει καλή επίδραση σφράγισης και ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης.
Η πολλαπλή οδός αποθέσεων αερίου υιοθετείται, το πεδίο ροής είναι ομοιόμορφο, η νεκρή γωνία αποθέσεων δεν σχηματίζεται και το αποτέλεσμα αποθέσεων είναι καλό.
Τα πολύ διαβρωτικά αέρια απορροής, τα εύφλεκτα και εκρηκτικά αέρια, η στερεή σκόνη και τα ιξώδη προϊόντα χαμηλού σημείου τήξης που παράγονται από την εναπόθεση μπορούν να υποβληθούν σε αποτελεσματική επεξεργασία·
Η πιο πρόσφατη αντι-διάβρωση μονάδα κενού έχει μεγάλο χρόνο εργασίας και χαμηλό ποσοστό συντήρησης.
Κύρια διαμόρφωση του κλιματιστικού κλιματιστικού κλιματιστικού κλιματισμού
Πύλη κλιβάνου: βίδα / υδραυλική / χειροκίνητη κλειδαριά / αυτόματη κλειδαριά
Κέλυφος φούρνου: πλήρης ατσάλι άνθρακα / εσωτερική στρώση ανοξείδωτου χάλυβα / όλο ανοξείδωτο χάλυβα
Φούρνος: μαλακό φέλτσιο άνθρακα / μαλακό φέλτσιο γραφίτη / σκληρό φέλτσιο σύνθετο
Θέρμανση: ισόστατο γραφίτη / τυποποιημένο τριπλό υψηλό γραφίτη / λεπτό γραφίτη
Σύστημα αερίου διεργασίας: μέτρο ροής όγκου / μάζας, χειροκίνητη βαλβίδα / αυτόματη βαλβίδα, εισαγόμενη / εγχώρια
Αντλία κενού και μετρητής κενού --- εισαγόμενα/εγχώρια
Διασύνδεση άνθρωπος-μηχανή: οθόνη αφής / βιομηχανικός υπολογιστής
Ηλεκτρικά εξαρτήματα: Chint / Schneider / Siemens
| Όγκος (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Μέγιστη θερμοκρασία (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Μέγεθος χώρου εργασίας D × H (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| Μέθοδος ελέγχου θερμοκρασίας | Ηλεκτρικός ελεγκτής θερμοκρασίας του νησιού της Ιαπωνίας | ||||
| μέθοδος θέρμανσης | Θέρμανση με αντίσταση | ||||
| Σύστημα κενού | Αντιφλοιωτική αντλία ή αντλία τροχιάς + αντλία ριζών | ||||
| Ατμόσφαιρα συντριβής | Υδρογονάνθρακες κλπ. | ||||
| Η ονομαστική τάση τροφοδοσίας (V) | 380 | ||||
| Ονομαστική τάση θέρμανσης (V) | Σύμφωνα με το σχέδιο, να ρυθμίσει τον μετασχηματιστή φούρνο | ||||
| Περιορισμός κενού (Pa) | 6X10 ∆2 (σταθερή κατάσταση κενού) | ||||
