自然冷却真空熱処理炉/シリコン溶解炉 2400℃
真空熱処理炉特徴:
1. 真空熱処理炉 は、炭化ケイ素材料を製造するための主要な設備であり、この設備で焼結された炭化ケイ素製品は優れた加工特性を持っています。均一な強度、完全な反応、高含有量と高品質の組み合わせの製品。脱ロウシステムにより、脱ロウ効果を強化し、炉内の雰囲気をより安定させ、カーボンフェルトと加熱材料の寿命を延ばします。抵抗加熱または誘導加熱を使用し、長寿命で加熱効果が高く、メンテナンスが容易なグラファイトチューブヒーターを使用しています。
2. 水平構造、シングルルーム、フロントドアまたは両開きドア、シンプルで便利な操作。設備のレイアウトは合理的でコンパクトで、設置面積が小さい。
3. 炉体の冷却は自然冷却で行われ、低温部は不活性ガスを正圧で充填することにより冷却速度を速めることができます。炉体防爆弁の独自設計で、安全で信頼性が高い。
真空熱処理炉用途
炭化ケイ素焼結炉 主に炭化ケイ素の再結晶化に使用
主な技術性能と指標
最高使用温度：2450℃
常用温度：2400℃
炉内作業ガス：窒素アルゴン
温度均一性：≤±10℃
温度制御精度：±1℃
| 容量 (L) | 192 | 350 | 484 | 1920 |
| 定格温度 (℃) | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 |
| 限界温度 (℃) | 2450 | 2450 | 2450 | 2450 |
| 有効加熱ゾーン (mm) | 400X400X1200 | 500X500X1400 | 550X550X1600 | 800X800X3000 |
| 電力 (KW) | 150 | 250 | 350 | 550 |
| 周波数 (HZ) | 1500 | 1000 | 1000 | 1000 |
| 温度制御方法 | 日本島電サーモスタット | |||
| 加熱方法 | 誘導加熱 | |||
| 真空システム | スプールバルブ真空ポンプ + ルーツ真空ポンプ | |||
| 焼結雰囲気 | N², Ar² およびその他のガス | |||
| 定格電源電圧 (V) | 380 | |||
| 定格加熱電圧 (V) | 設計に従い、変圧器を構成 | |||
| 真空限界 (pa) | 40 (真空コールド状態) |
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