맞춤형 화학 증기 퇴적 오븐, 가스 진공 인덕션 오븐
적용:
탄소 기체 (C3H8 등) 를 탄소 원천으로 가진 복합 재료의 화학 증기 퇴적에 사용할 수 있습니다.C/C 복합재료와 SiC 복합재료의 CVD 및 CVI 처리.
특징:
첨단 제어 기술을 사용하여 가스의 흐름과 압력을 정확하게 제어 할 수 있으며, 오븐의 퇴적 가스 흐름은 안정적이며 압력 변동 범위는 작습니다.
특수 구조 퇴적 챔버는 밀폐 효과가 좋고 강력한 오염 방지 능력을 가지고 있습니다.
다채널 퇴적 가스 경로가 채택되고, 흐름 필드는 균일하며, 퇴적 죽은 각은 형성되지 않으며 퇴적 효과가 좋습니다.
고독성 폐가스, 불화성 및 폭발성 가스, 고체 먼지 및 저 녹는점으로 생성된 점착성 제품은 효과적으로 처리 할 수 있습니다.
최신 설계의 반성식 진공 단위는 긴 작업 시간과 낮은 유지 보수율을 가지고 있습니다.
퇴적 오븐의 주요 구성
오븐 문: 나사 리프트 / / 수압 리프트 /; 수동 잠금 / 자동 잠금 링 잠금
오븐 껍질: 전체 탄소 강철 / 내부 층 스테인레스 스틸 / 모든 스테인레스 스틸
오븐: 부드러운 탄소 필트 / 부드러운 그래피트 필트 / 단단한 복합 필트
히터: 동역 그래피트 / 폼드 세 개의 높은 그래피트 / 얇은 그래피트
프로세스 가스 시스템: 부피 / 질량 흐름 미터; 수동 밸브 / 자동 밸브; 수입 / 국내
진공 펌프 및 진공 측정기--- 수입/국내용
인간-기계 인터페이스: 터치 스크린 / 산업용 컴퓨터
전기 부품: Chint / Schneider / Siemens
| 부피 (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| 최대 온도 (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 작업 면적 크기 D × H (mm) | Φ300 × 500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| 온도 조절 방법 | 일본 섬 전기 온도 조절기 | ||||
| 난방 방법 | 저항 난방 | ||||
| 진공 시스템 | 방수 펌프 또는 스풀 펌프 + 뿌리 펌프 | ||||
| 시너지 대기 | 탄화수소 가스 등 | ||||
| 가등식 전원 공급 전압 (V) | 380 | ||||
| 가열 전압 (V) | 설계에 따라, 오븐 트랜스포머를 구성 | ||||
| 진공 제한 (Pa) | 6X10?? 2 (실공 냉정 상태) | ||||
