فرن ترسيب البخار الكيميائي المخصص، فرن الحث الفراغي للغاز
التطبيق:
يمكن استخدامه لترسيب البخار الكيميائي للمواد المركبة بغاز الكربون (مثل C3H8، إلخ) كمصدر للكربون، مثل معالجة CVD و CVI للمواد المركبة C/C والمواد المركبة SiC.
الميزات:
باستخدام تقنية التحكم المتقدمة، يمكنها التحكم بدقة في تدفق الغاز وضغطه، وتدفق غاز الترسيب في الفرن مستقر، ونطاق تقلب الضغط صغير؛
غرفة الترسيب ذات الهيكل الخاص لها تأثير إحكام جيد وقدرة قوية على مقاومة التلوث؛
تم اعتماد مسار غاز الترسيب متعدد القنوات، وحقل التدفق موحد، ولا تتشكل الزاوية الميتة للترسيب، وتأثير الترسيب جيد؛
يمكن معالجة غاز الذيل شديد التآكل والغاز القابل للاشتعال والانفجار والغبار الصلب والمنتجات اللزجة ذات درجة الانصهار المنخفضة الناتجة عن الترسيب بشكل فعال؛
تتميز وحدة الفراغ المضادة للتآكل الأحدث بتصميمها بوقت عمل طويل ومعدل صيانة منخفض.
التكوين الرئيسي لفرن الترسيب
باب الفرن: رفع لولبي / / رفع هيدروليكي /؛ قفل يدوي / قفل حلقي أوتوماتيكي
هيكل الفرن: فولاذ كربوني كامل / طبقة داخلية من الفولاذ المقاوم للصدأ / كل الفولاذ المقاوم للصدأ
الفرن: لباد كربون ناعم / لباد جرافيت ناعم / لباد مركب صلب
السخان: جرافيت متساوي الضغط / جرافيت ثلاثي عالي مصبوب / جرافيت ناعم
نظام غاز العملية: مقياس تدفق الحجم / الكتلة؛ صمام يدوي / صمام أوتوماتيكي؛ مستورد / محلي
مضخة تفريغ ومقياس تفريغ--- مستورد / محلي
واجهة الإنسان والآلة: شاشة تعمل باللمس / كمبيوتر صناعي
المكونات الكهربائية: تشينت / شنايدر / سيمنز
| الحجم (لتر) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| أقصى درجة حرارة (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| حجم منطقة العمل D × H (مم) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| طريقة التحكم في درجة الحرارة | جهاز التحكم في درجة الحرارة الكهربائية في جزيرة اليابان | ||||
| طريقة التسخين | التسخين بالمقاومة | ||||
| نظام التفريغ | مضخة مضادة للاتساخ أو مضخة بكرة + مضخة جذور | ||||
| جو التلبيد | غاز الهيدروكربون، إلخ. | ||||
| جهد إمداد الطاقة المقنن (فولت) | 380 | ||||
| جهد التسخين المقنن (فولت) | وفقًا للتصميم، قم بتكوين محول الفرن | ||||
| حد التفريغ (باسكال) | 6X10ˉ2 (حالة التفريغ البارد) | ||||
