فرن ترسب بخار كيميائي مخصص ، فرن إدخال فراغ غازي
التطبيق:
يمكن استخدامه في ترسب البخار الكيميائي للمواد المركبة مع غاز الكربون (مثل C3H8 ، إلخ) كمصدر للكربون ،مثل معالجة CVD و CVI للمواد المركبة C / C والمواد المركبة SiC.
الخصائص:
باستخدام تكنولوجيا التحكم المتقدمة ، يمكنها التحكم بدقة في تدفق وضغط الغاز ، وتدفق غاز الترسب في الفرن مستقر ، ومدى تقلبات الضغط صغير ؛
غرفة ترسب الهيكل الخاص لها تأثير ختم جيد وقدرة قوية على مكافحة التلوث.
يتم اعتماد مسار غاز الترسب متعدد القنوات ، ومجال التدفق موحد ، ولا يتم تشكيل زاوية الترسب الميتة ، وتأثير الترسب جيد.
يمكن معالجة غازات الذيل القوية التآكل والغازات القابلة للاشتعال والمتفجرة والغبار الصلب والمنتجات اللزجة منخفضة درجة الانصهار الناتجة عن الرسوب بفعالية.
وحدة الفراغ المضادة للتآكل لديها وقت عمل طويل ومعدل صيانة منخفض.
التكوين الرئيسي لفرن الترسب
باب الفرن: رفع المسمار / / رفع هيدروليكي / ؛ قفل يدوي / قفل تلقائي قفل حلقة
غلاف الفرن: فولاذ الكربون الكامل / الفولاذ المقاوم للصدأ الطبقة الداخلية / جميع الفولاذ المقاوم للصدأ
الفرن: شعير الكربون الناعم / شعير الجرافيت الناعم / شعير المركب الصلب
التدفئة: الجرافيت المستقرة / الجرافيت العالي الثلاثة / الجرافيت الدقيق
نظام غاز العملية: مقياس تدفق الحجم / الكتلة ؛ صمام يدوي / صمام تلقائي ؛ مستورد / محلي
مضخة الفراغ ومقياس الفراغ---استيراد/داخلية
واجهة الإنسان والآلة: شاشة لمسة / كمبيوتر صناعي
المكونات الكهربائية: تشينت / شنايدر / سيمنز
| الحجم (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| الحرارة القصوى (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| حجم منطقة العمل D × H (ملم) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100 × 2000 |
| طريقة التحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم درجة الحرارة الكهربائية لجزيرة اليابان | ||||
| طريقة التدفئة | تسخين المقاومة | ||||
| نظام الفراغ | مضخة مكافحة التلوث أو مضخة العجلة + مضخة الجذور | ||||
| الغلاف الجوي للتخمير | غاز الهيدروكربونات، الخ | ||||
| الجهد القياسي لمصدر الطاقة (V) | 380 | ||||
| الجهد الاسمي للتدفئة (V) | وفقا للتصميم، وتهيئة محول الفرن | ||||
| الحد الأقصى للفراغ (Pa) | 6X102 (حالة فراغ بارد) | ||||
