Horno de deposición de vapor químico personalizado, horno de inducción de vacío de gas
Aplicación:
Puede utilizarse para la deposición química de vapor de materiales compuestos con gas de carbono (como C3H8, etc.) como fuente de carbono,como el tratamiento CVD y CVI de materiales compuestos C/C y materiales compuestos SiC.
Características:
Utilizando tecnología de control avanzada, puede controlar con precisión el flujo y la presión del gas, el flujo de gas de deposición en el horno es estable y el rango de fluctuación de la presión es pequeño;
La cámara de deposición de la estructura especial tiene un buen efecto de sellado y una fuerte capacidad antipollución.
Se adopta la trayectoria del gas de deposición multicanal, el campo de flujo es uniforme, no se forma el ángulo muerto de deposición y el efecto de deposición es bueno;
Los gases de cola altamente corrosivos, los gases inflamables y explosivos, el polvo sólido y los productos viscosos de bajo punto de fusión producidos por deposición pueden tratarse eficazmente.
La última unidad de vacío anticorrosión de diseño tiene un largo tiempo de trabajo y baja tasa de mantenimiento.
Configuración principal del horno de deposición
Puerta del horno: elevación por tornillo / / elevación hidráulica /; bloqueo manual / bloqueo automático bloqueo de anillo
Cubierta de horno: acero al carbono completo / acero inoxidable de capa interna / todo acero inoxidable
Horno: fieltro de carbono blando / fieltro de grafito blando / fieltro compuesto duro
Calentador: grafito isostático / grafito moldeado de tres grados / grafito fino
Sistema de gas de proceso: medidor de caudal de volumen / masa; válvula manual / válvula automática; importada / nacional
Bombas de vacío y medidores de vacío--- importación/doméstico
Interfaz hombre-máquina: pantalla táctil / ordenador industrial
Componentes eléctricos: Chint / Schneider / Siemens
| Volumen (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Temperatura máxima (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Tamaño de la zona de trabajo D × H (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800×1200 | F1000×1500 | Φ1100 × 2000 |
| Método de control de la temperatura | Control de temperatura eléctrico de la isla de Japón | ||||
| método de calentamiento | Calentamiento por resistencia | ||||
| Sistema de vacío | La bomba antiincrustación o la bomba de carrete + la bomba de raíces | ||||
| Atmosfera de sinterización | Gas de hidrocarburos, etc. | ||||
| Válvula de alimentación nominal (V) | 380 | ||||
| Válvulas de calefacción | De acuerdo con el diseño, configurar el transformador de horno | ||||
| Límites de vacío (Pa) | 6X10?? 2 (en estado de vacío frío) | ||||