Специализированная печь химического осаждения из газовой фазы, Газовая вакуумная индукционная печь

Индивидуальная печь химического осаждения из паровой фазы, вакуумная индукционная печь для газов

Применение:

Может использоваться для химического осаждения композитных материалов с использованием углеродного газа (например, C3H8 и т. д.) в качестве источника углерода, такого как CVD и CVI обработка композитных материалов C/C и композитных материалов SiC.

Особенности:

Используя передовую технологию управления, можно точно контролировать поток и давление газа, поток осаждающего газа в печи стабилен, а диапазон колебаний давления невелик;

Специальная конструкция камеры осаждения имеет хороший эффект герметизации и сильную способность противостоять загрязнению;

Применяется многоканальный путь осаждающего газа, поле потока равномерное, не образуется мертвый угол осаждения, и эффект осаждения хороший;

Высококоррозионный отходящий газ, легковоспламеняющийся и взрывоопасный газ, твердая пыль и низкоплавкие вязкие продукты, образующиеся при осаждении, могут быть эффективно обработаны;

Новейший антикоррозионный вакуумный блок имеет длительное время работы и низкую частоту обслуживания.

Основная конфигурация печи осаждения

Дверь печи: винтовой подъем / гидравлический подъем /; ручной замок / автоматический кольцевой замок

Корпус печи: углеродистая сталь / внутренний слой из нержавеющей стали / вся нержавеющая сталь

Печь: мягкий углеродный войлок / мягкий графитовый войлок / твердый композитный войлок

Нагреватель: изостатический графит / формованный трехвысокий графит / мелкозернистый графит

Система технологического газа: объемный / массовый расходомер; ручной клапан / автоматический клапан; импортный / отечественный

Вакуумный насос и вакуумметр---импортный/отечественный

Интерфейс человек-машина: сенсорный экран / промышленный компьютер

Электрические компоненты: Chint / Schneider / Siemens