Προσαρμοσμένος Κεραμικός Φούρνος Αποθέσεως Ατμού, Κεραμικός Φούρνος Ενέργειας

Προσαρμοσμένος Φούρνος Εναπόθεσης Χημικών Ατμών, Φούρνος Επαγωγής Αερίου Υποπίεσης

Εφαρμογή:

Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για εναπόθεση χημικών ατμών σύνθετων υλικών με αέριο άνθρακα (όπως C3H8, κ.λπ.) ως πηγή άνθρακα, όπως επεξεργασία CVD και CVI σύνθετων υλικών C/C και σύνθετων υλικών SiC.

Χαρακτηριστικά:

Χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία ελέγχου, μπορεί να ελέγξει με ακρίβεια τη ροή και την πίεση του αερίου, η ροή του αερίου εναπόθεσης στον φούρνο είναι σταθερή και το εύρος διακύμανσης της πίεσης είναι μικρό.

Ο θάλαμος εναπόθεσης ειδικής δομής έχει καλό αποτέλεσμα στεγανοποίησης και ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης.

Υιοθετείται η διαδρομή αερίου εναπόθεσης πολλαπλών καναλιών, το πεδίο ροής είναι ομοιόμορφο, δεν σχηματίζεται νεκρή γωνία εναπόθεσης και το αποτέλεσμα εναπόθεσης είναι καλό.

Τα εξαιρετικά διαβρωτικά αέρια ουράς, τα εύφλεκτα και εκρηκτικά αέρια, η στερεή σκόνη και τα ιξώδη προϊόντα χαμηλού σημείου τήξης που παράγονται από την εναπόθεση μπορούν να υποβληθούν σε αποτελεσματική επεξεργασία.

Η τελευταία μονάδα κενού κατά της διάβρωσης έχει μεγάλο χρόνο εργασίας και χαμηλό ρυθμό συντήρησης.

Κύρια διαμόρφωση φούρνου εναπόθεσης

Πόρτα φούρνου: ανύψωση με βίδα / / υδραυλική ανύψωση /; χειροκίνητο κλείδωμα / αυτόματο κλείδωμα δακτυλίου

Κέλυφος φούρνου: πλήρης ανθρακούχος χάλυβας / εσωτερικό στρώμα ανοξείδωτου χάλυβα / όλος ανοξείδωτος χάλυβας

Φούρνος: μαλακό τσόχα άνθρακα / μαλακό τσόχα γραφίτη / σκληρό σύνθετο τσόχα

Θερμαντήρας: ισοστατικός γραφίτης / χυτευμένος τριών υψηλών γραφίτης / λεπτός γραφίτης

Σύστημα αερίου διεργασίας: μετρητής ροής όγκου / μάζας; χειροκίνητη βαλβίδα / αυτόματη βαλβίδα; εισαγόμενη / εγχώρια

Αντλία κενού και μετρητής κενού---εισαγόμενη/εγχώρια

Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής: οθόνη αφής / βιομηχανικός υπολογιστής

Ηλεκτρικά εξαρτήματα: Chint / Schneider / Siemens