Forno de deposição de vapor químico personalizado, Forno de indução a vácuo de gás
Aplicação:
Pode ser utilizado para a deposição química de vapores de materiais compostos com gás carbono (como C3H8, etc.) como fonte de carbono,como tratamento CVD e CVI de materiais compostos C/C e materiais compostos SiC.
Características:
Utilizando uma tecnologia de controlo avançada, pode controlar com precisão o caudal e a pressão do gás, o caudal do gás de deposição no forno é estável e o intervalo de flutuação da pressão é pequeno;
A câmara de deposição de estrutura especial tem um bom efeito de vedação e uma forte capacidade anti-poluição;
O caminho do gás de deposição multicanal é adotado, o campo de fluxo é uniforme, o ângulo morto de deposição não é formado e o efeito de deposição é bom;
Podem ser tratados de forma eficaz gases residuais altamente corrosivos, gases inflamáveis e explosivos, poeiras sólidas e produtos viscosos de baixo ponto de fusão produzidos por deposição;
A última unidade de vácuo anticorrosivo tem um longo tempo de trabalho e baixa taxa de manutenção.
Configuração principal do forno de deposição
Porta do forno: elevador de parafuso / / elevador hidráulico /; fechadura manual / fechadura automática fechadura de anel
Casca do forno: aço carbono completo / camada interna de aço inoxidável / todo o aço inoxidável
Forno: feltro de carbono macio / feltro de grafite macio / feltro composto duro
Aquecedor: grafito isostático / grafito moldeado de três alturas / grafito fino
Sistema de gás de processo: medidor de caudal de volume / massa; válvula manual / válvula automática; importada / doméstica
Bomba de vácuo e medidor de vácuo--- importação/doméstico
Interface homem-máquina: ecrã táctil / computador industrial
Componentes elétricos: Chint / Schneider / Siemens
| Volume (L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
| Temperatura máxima (°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Tamanho da área de trabalho D × H (mm) | Φ300×500 | Φ600 × 800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| Método de controlo da temperatura | Controlador de temperatura elétrico da Ilha do Japão | ||||
| método de aquecimento | Aquecimento por resistência | ||||
| Sistema de vácuo | Bomba antiincrustante ou bomba de espiral + Bomba de raízes | ||||
| Atmosfera de sinterização | Gás de hidrocarbonetos, etc. | ||||
| Tensão nominal de alimentação (V) | 380 | ||||
| Voltagem de aquecimento nominal (V) | De acordo com o projeto, configurar o transformador de forno | ||||
| Limite de vácuo (Pa) | 6X10?? 2 (estado de vácuo frio) | ||||
