Individuell angepasster chemischer Dampf-Deposition Ofen, Gas-Vakuum-Induktionsofen

Kundenspezifischer Chemical Vapor Deposition Ofen, Gasvakuuminduktionsofen

Anwendung:

Er kann für die chemische Gasphasenabscheidung von Verbundwerkstoffen mit Kohlenstoffgas (wie z. B. C3H8 usw.) als Kohlenstoffquelle verwendet werden, wie z. B. CVD- und CVI-Behandlung von C/C-Verbundwerkstoffen und SiC-Verbundwerkstoffen.

Merkmale:

Durch den Einsatz fortschrittlicher Steuerungstechnologie kann der Gasfluss und der Druck präzise gesteuert werden, der Abscheidungsgasfluss im Ofen ist stabil und der Druckschwankungsbereich ist gering;

Die spezielle Struktur der Abscheidungskammer hat eine gute Abdichtungswirkung und eine starke Anti-Verschmutzungsfähigkeit;

Der Mehrkanal-Abscheidungsgasweg wird verwendet, das Strömungsfeld ist gleichmäßig, der Abscheidungstotwinkel wird nicht gebildet und der Abscheidungseffekt ist gut;

Hochkorrosives Abluftgas, brennbare und explosive Gase, fester Staub und niedrigschmelzende viskose Produkte, die durch die Abscheidung entstehen, können effektiv behandelt werden;

Die neueste Design-Korrosionsschutz-Vakuumeinheit hat eine lange Arbeitszeit und eine geringe Wartungsrate.

Hauptkonfiguration des Abscheidungsofens

Ofentür: Schraubenanhebung / / hydraulische Anhebung /; manueller Verschluss / automatischer Ringverschluss

Ofenmantel: Vollkohlenstoffstahl / Innenschicht Edelstahl / komplett Edelstahl

Ofen: weicher Carbonfilz / weicher Graphitfilz / harter Verbundfilz

Heizung: isostatischer Graphit / geformter Dreifach-Hochgraphit / feiner Graphit

Prozessgassystem: Volumen- / Massenstrommesser; manuelles Ventil / automatisches Ventil; importiert / inländisch

Vakuumpumpe und Vakuummeter---importiert/inländisch

Mensch-Maschine-Schnittstelle: Touchscreen / Industriecomputer

Elektrische Komponenten: Chint / Schneider / Siemens