Forno di deposizione chimica a vapore, forno a gas a vuoto

Fornace per deposizione chimica da vapore personalizzata, Forno a induzione a vuoto per gas

Applicazione:

Può essere utilizzato per la deposizione chimica da vapore di materiali compositi con gas di carbonio (come C3H8, ecc.) come fonte di carbonio, come il trattamento CVD e CVI di materiali compositi C/C e materiali compositi SiC.

Caratteristiche:

Utilizzando una tecnologia di controllo avanzata, può controllare con precisione il flusso e la pressione del gas, il flusso di gas di deposizione nel forno è stabile e l'intervallo di fluttuazione della pressione è piccolo;

La camera di deposizione con struttura speciale ha un buon effetto di tenuta e una forte capacità anti-inquinamento;

Viene adottato il percorso del gas di deposizione multicanale, il campo di flusso è uniforme, non si forma l'angolo morto di deposizione e l'effetto di deposizione è buono;

I gas di scarico altamente corrosivi, i gas infiammabili ed esplosivi, la polvere solida e i prodotti viscosi a basso punto di fusione prodotti dalla deposizione possono essere trattati efficacemente;

L'unità a vuoto anticorrosione di ultima progettazione ha un lungo tempo di lavoro e un basso tasso di manutenzione.

Configurazione principale del forno di deposizione

Porta del forno: sollevamento a vite / sollevamento idraulico /; blocco manuale / blocco automatico ad anello

Guscio del forno: acciaio al carbonio pieno / strato interno in acciaio inossidabile / tutto in acciaio inossidabile

Fornace: feltro di carbonio morbido / feltro di grafite morbido / feltro composito duro

Riscaldatore: grafite isostatica / grafite stampata a tre alti / grafite fine

Sistema del gas di processo: misuratore di portata volumetrico / massico; valvola manuale / valvola automatica; importato / nazionale

Pompa per vuoto e manometro per vuoto---importato/nazionale

Interfaccia uomo-macchina: touch screen / computer industriale

Componenti elettrici: Chint / Schneider / Siemens