カスタマイズされた化学蒸着炉、ガス真空誘導炉
用途:
炭素源として炭素ガス（C3H8など）を用いた複合材料の化学蒸着に利用できます。例えば、C/C複合材料やSiC複合材料のCVDおよびCVI処理など。
特徴
:
高度な制御技術により、ガスの流量と圧力を正確に制御でき、炉内の蒸着ガス流は安定しており、圧力変動範囲は小さいです。
特殊構造の蒸着チャンバーは、優れたシール効果と強力な耐汚染能力を備えています。
多チャンネルの蒸着ガス経路を採用し、流場が均一で、蒸着デッドアングルが形成されず、蒸着効果が良好です。
蒸着によって生成される高腐食性テールガス、可燃性および爆発性ガス、固体の粉塵、および低融点粘性生成物を効果的に処理できます。
最新設計の耐腐食真空ユニットは、長い稼働時間と低いメンテナンス率を実現しています。
蒸着炉の主な構成
炉扉：スクリューリフト//油圧リフト/;手動ロック/自動ロックリングロック
炉殻：全炭素鋼/内層ステンレス鋼/全ステンレス鋼
炉：ソフトカーボンフェルト/ソフトグラファイトフェルト/ハード複合フェルト
ヒーター：等方性グラファイト/成形三高グラファイト/微細グラファイト
プロセスガスシステム：体積/質量流量計;手動バルブ/自動バルブ;輸入/国産
真空ポンプと真空計---輸入/国産
マンマシンインターフェース：タッチスクリーン/産業用コンピュータ
| 電気部品：Chint/Schneider/Siemens | 容量（L） | 35 | 226 | 602 | 1177 |
| 1899 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 1500 | 作業領域サイズD×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 |
| Φ1100×2000 | 温度制御方法 | ||||
| 日本島電製温度コントローラー | 加熱方法 | ||||
| 抵抗加熱 | 真空システム | ||||
| 防汚ポンプまたはスピンドルポンプ+ルーツポンプ | 焼結雰囲気 | ||||
| 炭化水素ガスなど | 定格電源電圧（V） | ||||
| 380 | 定格加熱電圧（V） | ||||
| 設計に応じて、炉変圧器を構成します | 真空限界（Pa） | ||||
